Čemšunasaliuminio oksido plokštelių poliravimo plokštė/sukimo stalas pagamintas iš didelio grynumo 99,7–99,9 % aliuminio oksido. Didelio grynumo aliuminio oksido keramika pasižymi išskirtiniu standumu ir puikiu atsparumu dilimui, kurį galima naudoti poliruojant plokšteles, ir ilgą laiką išlaiko gerą paviršiaus formą. Ją formuoja PIBM. Ji priklauso puslaidininkių pramonei dėl neprilygstamo terminio ir matmenų stabilumo bei atsparumo atšiaurioms mikroschemų apdorojimo įrangos aplinkoms.
Cheminis-mechaninis plokštumos formavimas (CHP), dar žinomas kaip cheminis-mechaninis poliravimas, yra puslaidininkinių įtaisų gamybos proceso technologija. Joje cheminė korozija ir mechaninės jėgos naudojamos silicio plokštelėms ar kitoms substrato medžiagoms lyginti apdorojimo metu.
CMP įranga daugiausia skirstoma į dvi dalis: poliravimo dalį ir valymo dalį. Poliravimo dalį sudaro 4 dalys: 3 poliravimo patefonai ir plokštelių pakrovimo bei iškrovimo modulis. Valymo dalis atsakinga už plokštelių valymą ir džiovinimą, kad būtų pasiektas plokštelių „įsausėjimo ir išsausėjimo“ procesas. Visoje poliravimo įrangoje svarbų vaidmenį atlieka aliuminio oksido keramika.
Aliuminio oksido keramika dažniausiai naudojama plokštelių poliravimo diskams gaminti, kuriems reikalingas didelis grynumas, didelis cheminis atsparumas ir geras paviršiaus formos bei šiurkštumo valdymas.
„Chemshun“ 99,7 % Al2O3 keraminis šlifavimo diskas pagamintas iš pažangių keraminių medžiagų, kurios tinka smulkiam įvairių medžiagų šlifavimui, ypač trapių medžiagų, tokių kaip plokštelės, keramika ir stiklas, šlifavimui. Mūsų keraminis šlifavimo diskas gali būti gaminamas įvairių dydžių, atsižvelgiant į skirtingus šlifavimo ir poliravimo modelius.
Įrašo laikas: 2025 m. gegužės 30 d.