Sparčiai vystantis puslaidininkių pramonei, pramonės mastai sparčiai augo, o puslaidininkių gamybos įranga toliau tobulėjo, siekdama tikslumo ir sudėtingumo. Dėl didelio kietumo, didelio elastingumo modulio, didelio atsparumo dilimui, geros izoliacijos, atsparumo korozijai, mažo plėtimosi ir kt. privalumų keramika gali būti naudojama kaip silicio poliravimo staklių, epitaksinio/oksidacijos/difuzinio terminio apdorojimo įrangos, litografijos mašinos, nusodinimo įrangos, puslaidininkių ėsdinimo įrangos, jonų implantavimo mašinos ir kitos įrangos dalys, todėl tiksliųjų keraminių dalių tyrimai, plėtra ir gamyba tiesiogiai veikia puslaidininkių pramonės plėtrą. Jų gamybos techniniai reikalavimai tampa vis aukštesni.
Didelio grynumo aliuminio oksidas, 99,7–99,9 % aliuminio oksido.
Didelis mechaninis stiprumas, didelis atsparumas dilimui, gera elektrinė izoliacija, didelis cheminis stabilumas, geras atsparumas karščiui ir korozijai. Šiuo metu keraminių šlifavimo diskų naudojimas puslaidininkinių silicio plokštelių šlifavimui yra pats pažangiausias ir pažangiausias šlifavimo metodas. Dvipusio šlifavimo procesas naudojamas pjaustytoms silicio plokštelėms šlifuoti, o šlifavimo plokštelės kokybė pagerėja tobulinant šlifavimo procesą (disko medžiagą, šlifavimo skystį, šlifavimo slėgį ir greitį ir kt.). Visų pirma, naudojant keramines plokšteles vietoj ketaus plokščių, galima išvengti šlifavimo ant plokštelės pagrindinio paviršiaus, kurį sukelia randai ar tarša, sumažinti metalo jonų patekimą, sumažinti vėlesnį silicio apdorojimą, sutrumpinti vėlesnio proceso (korozijos) laiką, pagerinti gamybos efektyvumą ir sumažinti silicio apdorojimo nuostolius, gerokai pagerinti silicio panaudojimą.
Aukšto aliuminio oksido plokštelių poliravimo plokštėNaudojama puslaidininkių, naftos, chemijos, fotovoltinių, skystųjų kristalų ir kitose pramonės šakose, tokiose kaip mechaninės dalys, elektroninės dalys, mikrobangų indukciniai diskai, izoliacinės medžiagos ir kitos dalys, puslaidininkiniai įtaisai, vakuuminė įranga, skystųjų kristalų gamybos įranga ir kitos dalys. Didelio dydžio ir didelio grynumo aliuminio oksido keramika yra svarbi safyro ir puslaidininkių lustų pramonėje. Tai pagrindinė safyro ir puslaidininkinių silicio plokštelių cheminio mechaninio poliravimo (CMP) pagalbinė medžiaga ir eksploatacinė medžiaga. Didelio dydžio ir didelio grynumo aliuminio oksido keramika taip pat gali būti naudojama kaip aliuminio oksido substratas LCD ekranuose.
Įrašo laikas: 2024 m. birželio 27 d.